12英寸氮化鋁晶圓加熱盤(pán)（heater） 12英寸氮化鋁晶圓加熱盤(pán)是鈞杰陶瓷生產(chǎn)的又一款用于半導(dǎo)體設(shè)備上的重要陶瓷部件，目前該產(chǎn)品性能可完全比肩進(jìn)口原裝件，經(jīng)過(guò)國(guó)內(nèi)多家設(shè)備廠商的實(shí)際使用，具備良好的熱導(dǎo)性，溫度控制均勻，能滿足晶圓加熱的需求。目前該產(chǎn)品的外形尺寸為&